根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类： (1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。 (2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。 (3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为"高"真空。 若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。

特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。